광학부재의 위치 오차 평가방법
- Title
- 광학부재의 위치 오차 평가방법
- Alternative Title
- Direct sampled sensitivity table alignment method with on-axis WFE measurement
- Assignee(s)
- 한국해양과학기술원
- Alternative Author(s)
- 오은송; 안기범
- Application Date
- 2012-12-27
- Registration Date
- 2014-05-14
- Application No.
- 10-2012-0155253 KIPRIS
- Registration No.
- 10-1397534
- Country
- KO
- Abstract
- 본 발명은 심우주용 카세그레인 형태 광학계의 정밀한 조립/정렬을 위한 기술로써, 광학계의 광축 방향의
파면오
차 값을 수 마이크로미터 편심과 비틀림을 측정하여, 광학 시스템의 정렬 민감도를 파악하고, 제르니케 계
수의 특
성을 이용하여 광학계의 현재 정렬 상태를 역으로 예측하여, 최적의 광학계 정렬 상태로 조립하는 기술이
다.
- Type
- Patent
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