웨이퍼 에지 노광장치
- Title
- 웨이퍼 에지 노광장치
- Alternative Title
- WAFER EDGE EXPOSURE APPARATUS
- Assignee(s)
- 한국해양과학기술원
- Alternative Author(s)
- 오은송
- Application Date
- 2014-10-31
- Registration Date
- 2016-05-03
- Application No.
- 10-2014-0150459 KIPRIS
- Registration No.
- 10-1619968
- Country
- KO
- Abstract
- 웨이퍼 에지 노광 장치가 개시된다. 본 발명의 웨이퍼 에지 노광 장치는, 다수의 광원이 형성되는 광원유
닛 및 광원의 빛을 집광시키는 굴절유닛을 포함하고, 굴절유닛은, 광원의 빛이 통과되는 통로를 형성하는
경통 및 경통의 통로 상에 구비되고, 광원의 빛을 순차적으로 굴절시키는 제1 렌즈, 제2 렌즈 및 제3 렌
즈를 포함하며, 제1 렌즈 및 제2 렌즈는 볼록렌즈로 이루어지고, 제3 렌즈는 오목렌즈로 이루어지는 것을
특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 다수의 광원의 빛이 웨이퍼 에지에 균일한 광량 및 입사각으로 조사되
어, 균일도가 일정한 노광면을 형성하며, 노광공정의 생산성이 향상되도록 이루어지는 웨이퍼 에지 노광
장치를 제공할 수 있게 된다.
- Type
- Patent
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