웨이퍼 에지 노광장치
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오은송 | - |
| dc.date.accessioned | 2020-07-15T06:24:05Z | - |
| dc.date.available | 2020-07-15T06:24:05Z | - |
| dc.date.issued | 2014-10-31 | - |
| dc.date.issued | 2016-05-03 | - |
| dc.identifier.uri | https://sciwatch.kiost.ac.kr/handle/2020.kiost/21728 | - |
| dc.description.abstract | 반도체 웨이퍼 상에 형성된 포토레지스트 막의 에지 부위에 대한 노광 공정을 수행하기 위한 장치에서, LED 광원으로부터 제공된 광을 집광, 평행광을 만들 수 있는 광학 유닛 설계를 발명하였다. 총 3매의 구 면 렌즈로 이루어진 시준기는 평행광 제조 용 제 1렌즈, 집광용 제 2 렌즈, 평행광 제조 용 제 3 렌즈로 구성되어 있으며 이를 통해 웨이퍼 에지 부위 상으로 조사된다. 기존 기술에 비해, 저비용 제작, 모듈상 간편한 교체가 가능하여 실제 공정 효율을 증대시킨다. | - |
| dc.title | 웨이퍼 에지 노광장치 | - |
| dc.title.alternative | Collimator design for Wafer Edge Exposure | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.date.application | 2014-10-31 | - |
| dc.date.registration | 2016-05-03 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0150459 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1619968 | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collections:
- Ocean Research, Operations & Support Department > Korea Ocean Satellite Center > 4. Patents
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