웨이퍼 에지 노광장치

DC Field Value Language
dc.contributor.author 오은송 -
dc.date.accessioned 2020-07-15T06:24:05Z -
dc.date.available 2020-07-15T06:24:05Z -
dc.date.issued 2014-10-31 -
dc.date.issued 2016-05-03 -
dc.identifier.uri https://sciwatch.kiost.ac.kr/handle/2020.kiost/21728 -
dc.description.abstract 반도체 웨이퍼 상에 형성된 포토레지스트 막의 에지 부위에 대한 노광 공정을 수행하기 위한 장치에서, LED 광원으로부터 제공된 광을 집광, 평행광을 만들 수 있는 광학 유닛 설계를 발명하였다. 총 3매의 구 면 렌즈로 이루어진 시준기는 평행광 제조 용 제 1렌즈, 집광용 제 2 렌즈, 평행광 제조 용 제 3 렌즈로 구성되어 있으며 이를 통해 웨이퍼 에지 부위 상으로 조사된다. 기존 기술에 비해, 저비용 제작, 모듈상 간편한 교체가 가능하여 실제 공정 효율을 증대시킨다. -
dc.title 웨이퍼 에지 노광장치 -
dc.title.alternative Collimator design for Wafer Edge Exposure -
dc.type Patent -
dc.date.application 2014-10-31 -
dc.date.registration 2016-05-03 -
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2014-0150459 -
dc.identifier.patentRegistrationNumber 10-1619968 -
dc.type.iprs 특허 -
dc.publisher.country KO -
Appears in Collections:
Ocean Research, Operations & Support Department > Korea Ocean Satellite Center > 4. Patents
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