웨이퍼 에지 노광장치

Title
웨이퍼 에지 노광장치
Alternative Title
Collimator design for Wafer Edge Exposure
Author(s)
오은송
Application Date
2014-10-31
Registration Date
2016-05-03
Application No.
10-2014-0150459 KIPRIS
Registration No.
10-1619968
Country
KO
Abstract
반도체 웨이퍼 상에 형성된 포토레지스트 막의 에지 부위에 대한 노광 공정을 수행하기 위한 장치에서,
LED 광원으로부터 제공된 광을 집광, 평행광을 만들 수 있는 광학 유닛 설계를 발명하였다. 총 3매의 구
면 렌즈로 이루어진 시준기는 평행광 제조 용 제 1렌즈, 집광용 제 2 렌즈, 평행광 제조 용 제 3 렌즈로
구성되어 있으며 이를 통해 웨이퍼 에지 부위 상으로 조사된다. 기존 기술에 비해, 저비용 제작, 모듈상
간편한 교체가 가능하여 실제 공정 효율을 증대시킨다.
URI
https://sciwatch.kiost.ac.kr/handle/2020.kiost/21728
Type
Patent
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