인공위성용 자유형상 반사경 초정밀 연마 및 코팅 가공조건

Abstract

본 연구는 인공위성용 자유형상 반사경 초정밀 연마 및 코팅에 대한 기술적 요구 사항에 대해 조사하였다. 반사경 가공에 사용되는 재료는 실리콘 카바이드(Silicon Carbide, SiC)로 반사경은 연마하기 전에 CVD(Chemical Vapor Deposition) 코팅이 이루어진다. 반사경 블랭크는 최대한 설계된 값에 맞게 초기 가공되어 납품되어야 한다. 주 반사 경(M1)은 원형의 오목 비축 타원체(-1 <K <0)이며, 주 반사경은 반사경 뒷면의 3 개 지점에서 플렉셔 마운트(Flexure mount)를 통해 고정된다. 외경의 기계적 치수는 210mm, 곡률 반경 -1006.56 ± 0.02mm, 코닉 상수(Conic constant) - 0.8052 ± 0.0001, 4 차 비구면계수 8.3880515E-12, 6 차 비구면게수 1.8593486E-19 및 RMS 파면 오차(Wavefront error) 는 측정 정확도를 포함하여 1/40λ 보다 작아야한다. Mirrorquilting 은 최종 WFE 에 포함되지만 연마 후 5 nm 미만을 유지해야한다. 반사경 코팅의 스펙트럼 범위는 370 nm ~ 905 nm 이며, 분광 반사율은 모든 스펙트럼 범위에서 90 % 이상이어야 한다. 초정밀 연마 및 코팅 후 미세 거칠기는 1 nm RMS 보다 작아야한다. 또한 본 연구에서는 우주에서 발사 및 작동 중 생존을 위한 열진공 및 진동 테스트의 요구 사항을 정의했다.